仪器主要功能：① 锆石及其它副矿物原位微区U-Pb定年 ② 硅酸盐矿物、氧化物等原位微量元素 ③ 微量元素面扫分析 ④ 熔/流包裹体的原位成分分析

主要技术指标：输出波长193nm；能量密度 > 50 Jcm2；脉冲能量稳定性 < 1% RSD；100mm x 100mm，TwoVol2 剥蚀池；光斑1-100um，频率1-20Hz