扫描电镜配备有BSE、SE、CL、能谱及EBSD探头，可完成多种样品表征、成分及晶体结构检测。可应用于材料科学、地质科学、生命科学及工业生产等领域。可对各种材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。