电子束蒸发台常见于镀膜工艺流程，其原理是利用加速后的电子能量打击材料标靶，使材料标靶蒸发升腾，最终沉积到目标基底上。主要用于 Ti、Al、Ni、Au、Pt、Ag、Ni 等金属的镀膜，一炉可以依次蒸镀 6 种不同金属，可以蒸镀高熔点金属 Pt、W 等。