本设备为单室高真空系统，主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、load-lock系统、冷却系统、报警系统、自动控制系统等部分组成。

设备为防氯基、氟基腐蚀的防腐设备，可以安全使用氯基、氟基腐蚀气体。