仪器生产商： 南光真空科技有限公司
资产编号： 1306630f
资产负责人： 伍义远
购置日期： 2013-12-31
仪器价格： 26.100000 万元
仪器产地： 中国
仪器供应商： ----
购买经办人： ----
主要配件： *
主要参数： *
仪器介绍：
光刻机是通过光学投影技术将芯片设计图案转移到硅片上的一种集成电路制造设备。利用光学原理实现图案转移的装置，基本原理是利用紫外光照射硅片表面，通过光刻胶的感光特性，在硅片表面形成图案。通过这个图案，可以在硅片上形成电路、导线等微细结构。