仪器生产商: 北京创世威纳科技有限公司
资产编号: 1501863S
资产负责人: 伍义远
购置日期: 2016-06-02
仪器价格: 59.900000 万元
仪器产地: 中国
仪器供应商: ----
购买经办人: ----
主要配件: *
主要参数: *
仪器介绍:
本设备为单室高真空系统,主要由真空系统、气路系统、电气系统、射频电源系统、load-lock系统、冷却系统、报警系统、自动控制系统等部分组成。
设备为防氯基、氟基腐蚀的防腐设备,可以安全使用氯基、氟基腐蚀气体。